工业CT是一种X射线扫描成像技术,实现产品无损可视化准确测量,并可搭配光学、光纤、探针、激光扫描等多种传感器。对工件内外部所有结构尺寸全面的高精密测量,同时可实现工件材质的缺陷分析。
工业CT检测主要用于检测高密度和大尺寸物体,应用高能量X射线探,需有更高的系统分辨力等等。目前工业CT技术的应用十分广泛;在汽车等制造领域,可以用于零部件的缺陷检测、质量控制和实效分析;在电子行业,可以用于芯片封装多余物检测、封装工艺改进和逆向设计;在航空航天领域可用于产品质量控制、装配工艺分析;总之,凡是需要观测样品内部结构的场合都能用到工业CT,是一种十分理想的无损检测手段。
工业CT
工业CT常用的CT扫描模式有II代扫描、III代扫描。III代扫描具有更高的效率,但是容易由于校正方法不佳而导致环状伪影(所以减弱或消除环状伪影是体现CT系统制造商技术水平的主要内容之一);II代扫描效率大约是III代扫描的1/10—1/5,但其对大回转直径工件检测有益。此外CT系统通常会具备数字射线检测成像(DR)功能。
工业CT系统的核心性能指标包括:
1、空间分辨率:从CT图像中能够辨别最小结构细节的能力。
2、密度分辨率:从CT图像中能够分辨出最小密度差异的能力(通常跟特征区域大小结合在一起评定)。
空间分辨率与密度分辨率的关系。在辐射剂量一定的情况下,空间分辨率与密度分辨率是相互矛盾的两个指标。提高空间分辨率会降低密度分辨率,反之亦然。
对于普通的工业CT系统,其核心性能指标只有空间分辨率和密度分辨率;而对于一台高精度测量工业CT系统而言,除了上述两个核心性能指标外,还有另外两个核心性能指标:
2、几何测量精度:在工业CT图像上测得某对象的几何尺寸与该对象真实尺寸之间的绝对误差。
2、密度测量精度:在工业CT图像上测得某对象的密度值与该对象真实密度值之间的相对误差。